臺(tái)式勻膠機(jī)選用方法
　　從其原理來說，可以看出選購(gòu)臺(tái)式勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)

旋轉(zhuǎn)速度

　　轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國(guó)產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能**標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購(gòu)買轉(zhuǎn)速控制方面有國(guó)際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如：美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等。

真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

　　真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。用過國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題，這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。

材質(zhì)的選擇

　　對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分臺(tái)式勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。 

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